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【48812】芯源微新品发布:前道化学洗刷机与SiC划片裂片一体机露脸上海

时间: 2024-05-15 12:07:02 |   作者: 过滤砂缸

  芯源微(688037.SH)行将推出两款半导体设备新品,包含前道单片式化学洗刷机KS-CM300和全自动SiC划片裂片一体机KS-S200-2S1B,别离于3月19日和3月20日至22日在上海发布。

  前道单片式化学洗刷机由芯源微上海临港600848)子公司研制,具有高工艺掩盖性、稳定性、洁净度及产能,适用于多种清洗工艺。

  该机台融入公司老练技能,并优化规划,进步内部微环境稳定性,有用紧缩chamber空间。

  全自动SiC划片裂片一体机由芯源微日本子公司联合研制,适用于6/8寸SiC晶圆切开及裂片,可拓宽至其他特种资料。

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